基于线光的表面粗糙度测量研究

摘要：

表面粗糙度是评价机械加工表面质量的重要指标,而在众多的表面粗糙度测量方法中,线激光法和线光谱共焦法因其非接触、工作距离大、且同属线光测量,效率高等优点,有着广阔的应用前景.论文首先分析了两种线光方法的测量原理,其次推导了表面粗糙度高度参数的计算方法,最后采用这两种方法完成了刨床样块和平磨样块的表面粗糙度测量实验.实验以触针法的结果作为参考标准,并从轮廓曲线和轮廓算数平均偏差Ra两个方面进行对比分析,结果表明:线光谱共焦法能够准确测量Ra30.2μm样块的表面粗糙度,而线激光法能够准确测量Ra33.2μm样块的表面粗糙度,两种方法可以应用于不同粗糙度测量要求的场合.

关键词：表面粗糙度、线激光、线光谱共焦、触针法、线光

所属期刊栏目：42

分类号：TN247(光电子技术、激光技术)

资助基金：陕西省科技重大专项;陕西省教育厅专项科研计划项目

在线出版日期：2022-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：160-163