10.3969/j.issn.1627-9730.2007.05.003
微电子技术发展和展望
综述微电子技术的历史发展和重要地位,重点介绍其新材料和制备工艺的进展,新材料方面主要介绍几种重要的化合物半导体,并对其发展问题和前景进行展望.
微电子、砷化稼、集成电路、纳米技术
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TN40(微电子学、集成电路(IC))
国家高技术研究发展计划863计划2004AA32G090;湖北省教育厅科研项目B200530002
2007-12-17(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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