智能制造的大数据分析

摘要：

设备和工艺方面的专业知识是半导体制造分析解决方案的关键组成部分.过去几年,应用材料公司在探索半导体制造业的大数据分析方法上一直走在业界前列.公司在瑞士曼迪匹艾(MDPI)的开放期刊 Processes 上发表的一篇文章,获得了 2016年和 2017年度"最佳论文奖".

机标关键词：大数据分析、智能制造

分类号：TP311.13;F424;TN929.5

在线出版日期：2020-04-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：57-58,60,62