丝网印刷法制备GPP芯片工艺

摘要：

玻璃钝化类器件(Glassivation Passivation Parts,GPP)是在普通硅整流扩散片的基础上对拟分割的管芯P/N结面四周烧制l层玻璃,由于玻璃与单晶硅有很好的结合特性,使P/N结可获得最佳保护,提高器件的稳定性.文章通过试验完成了丝网印刷法的工业化生产,确定了丝网印刷保护层浆料工艺、丝网印刷玻璃层浆料工艺和丝网印刷玻璃层的烘干工艺,实现了丝网印刷法制备GPP芯片25万片/月的工业化生产能力.

关键词：GPP芯片;丝网印刷法;保护层油墨;玻璃钝化;玻璃气泡;工业生产

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：134-137