1700V IGBT场限环场板终端优化设计

摘要：

击穿电压是IGBT的一个重要参数,而器件的击穿电压主要与终端结构有关,所以对终端结构的研究一直备受关注.文章设计了一种1700 V的IGBT终端结构,采用场限环和场板相结合的终端技术,降低了器件表面电场峰值,提高了其击穿电压.通过仿真分析多组不同场板长度和氧化层厚度的终端结构,采用多项式拟合和多元回归分析击穿电压、表面电场分布与每个环上的场板长度和氧化层厚度的关系;在此基础上提前预测器件的击穿电压和表面电场分布,缩短终端设计时间;经过调整后,在366 μm的终端上仿真实现了l 927 V的击穿电压,终端效率达到了91.5％.该终端优化设计方法能够优化器件的表面电场分布,有效降低表面电场峰值,并提高终端效率.

关键词：IGBT;场限环;场板;击穿电压;多元回归;多项式拟合;仿真

分类号：TN325+.2(半导体技术)

在线出版日期：2021-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：58-63