质子辐照技术在软恢复二极管中的应用

摘要：

介绍了质子能量与辐照深度的关系及质子剂量与软恢复二极管各项性能参数的关系,阐述了质子辐照技术的优越性,还介绍了在软恢复二极管研制中质子辐照配合电子辐照的实际应用.

关键词：质子辐照、软恢复二极管、能量、剂量

分类号：TN31(半导体技术)

在线出版日期：2004-08-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-28