MOCVD制备中温TiO2-Al2O3复合涂层及其抑焦性能研究

摘要：

本文以异丙醇钛和仲丁醇铝为原料,采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)共沉积法在310S不锈钢表面制备不同温度TiO2-Al2 O3复合涂层,并采用扫描显微镜、能量散射X射线光谱表征了复合涂层的表面形貌、厚度、元素组成.结果显示:不同复合涂层厚度均随沉积时间增加而增加,涂层均匀致密,复合涂层中Ti、Al、O三种元素含量随沉积温度线性变化.晶型测试表明:250℃和300℃沉积复合涂层为无定型的TiO2和Al2 O3构成,350℃和400℃时复合涂层的晶型结构为锐钛矿相的TiO2和无定型的Al2 O3.不同温度沉积TiO2-Al2 O3复合涂层试样结焦评价后积碳量均较310S空白试样大大减少,400℃沉积复合涂层试样表面没有丝状积碳出现,表明复合涂层具有较好的抑制金属催化结焦效果.

关键词：TiO2-Al2O3复合涂层、沉积温度、抑制结焦、MOCVD

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分类号：O614.41(无机化学)

资助基金：国家自然科学基金项目91641121;教育部新世纪优秀人才支持计划项目NCET-13-0398

在线出版日期：2018-08-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1179-1185