溶胶-凝胶法制备氧化铝光学薄膜

摘要：

@@ 氧化铝薄膜性能优异,具有较高的介电常数、高热导率、抗辐照能力强、抗碱离子渗透能力强以及在很宽的波长范围内透明等性能.因此,氧化铝薄膜广泛地应用于微电子器件、电致发光器件、光波导器件以及抗腐蚀涂层等众多领域[1].特别是氧化铝光学薄膜具有高的抗激光损伤阈值[2],用于制备增透膜、高反射薄膜等光学膜层,在惯性约束聚变的高功率固体激光器中具有广阔的应用前景.制备薄膜的方法有物理气相沉积法、化学气相沉积法和溶胶-凝胶法.与前两种方法相比,溶胶-凝胶法具有设备简单、操作方便、膜层质量高等特点,因此受到人们的广泛关注[3,4].目前,在光学薄膜领域,溶胶-凝胶法主要用于制备二氧化硅光学薄膜 [5,6],用其制备氧化铝光学薄膜还鲜见报道.

关键词：氧化铝、光学薄膜、溶胶-凝胶

所属期刊栏目：20

分类号：O623.421(有机化学)

资助基金：863高技术2004AA848040

在线出版日期：2008-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：887-889