类金刚石碳薄膜对碳膜导电性能的影响

摘要：

以聚酰亚胺薄膜为原料,经炭化形成碳膜;进而在碳膜表面制备了类金刚石碳(DLC)薄膜,研究了制备条件对碳膜导电性能的影响.采用扫描电镜分析了薄膜的表面形貌和微观结构;采用X射线衍射仪分析了薄膜的晶体结构.结果表明,DLC薄膜的电阻率随着沉积时间的延长先减小后增加;当沉积时间达到3 h时,相应DLC薄膜的电阻率达到最小值5.66×10-5Ω·m.

关键词：聚酰亚胺、碳膜、类金刚石碳薄膜、导电性能

所属期刊栏目：22

分类号：O613.71(无机化学)

在线出版日期：2011-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：5-7