全氢聚硅氮烷-氧化硅的转化过程研究

摘要：

利用全氢聚硅氮烷(PHPS)转化制备的氧化硅材料在存储芯片、柔性显示封装等领域展现出较高的应用价值.本工作系统研究了 PHPS在高温加热条件下的氧化硅形成过程,考察了转化过程中化学组成和微观结构对体积收缩、折射率和力学性能的影响.研究结果表明:转化温度低于180℃C时,PHPS的转化以Si—H和Si—N的水解缩合反应为主,转化程度较低,形成的是氧化硅为分散相、PHPS为连续相的海岛结构;转化温度在180～300℃C区间内,转化以氧化反应为主,氧化硅相逐渐生长,形成双连续的相结构,且在温度高于200℃时发生相反转,氧化硅相成为连续相.转化温度在300～600℃区间时,氧化硅网络骨架基本形成,在高温的作用下进一步致密化.PHPS转化样品的体积收缩、折光指数和力学性能与其转化程度和相分布有关.

关键词：全氢聚硅氮烷、氧化硅、转化过程、微观结构、双连续相

所属期刊栏目：80

分类号：TQ324.21;O631;TQ264.17

资助基金：中国科学院青年创新促进会项目;中国科学院青年创新促进会项目

在线出版日期：2022-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：734-740