纳米氧化锡修饰的微催化燃烧式氢气传感器的研制

摘要：

研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(MicroElectro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0～4％浓度范围内的快速检测,响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s,灵敏度达75.4mV/1％ H2,线性度为99.4％.考察200天内该传感芯片对氢气的检测能力,传感芯片表现出良好的稳定性,精确度保持在95％以上.在绝缘层高温性能稳定的条件下,将三维纳米氧化锡应用于微催化燃烧式传感器的氢气检测,对催化燃烧式传感器性能的改进具有重要的意义.

关键词：纳米氧化锡、催化燃烧传感器、微机电系统(MEMS)、氢气检测

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资助基金：项目受国家自然科学基金61134010;国家863计划2008AA042205

在线出版日期：2013-05-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：657-662