自组装超薄膜修饰Ta_2O_5介质膜及其特性研究

摘要：

采用静电自组装方法在五氧化二钽（Ta2O5）介质氧化膜上制备了聚二烯丙基二甲基氯化铵（PDDA）/聚苯乙烯磺酸钠（PSS）和聚二烯丙基二甲基氯化铵/聚-3,4-乙烯二氧噻吩-聚苯乙烯磺酸钠（PEDOT-PSS）超薄膜.研究了两种自组装超薄膜在Ta2O5介质氧化薄膜上的组装特性.结果表明两种自组装膜能够稳定地组装于Ta2O5介质膜表面,并有效降低薄膜的表面粗糙度.进一步研究了两种自组装超薄膜修饰的Ta2O5电容结构的电性能.结果表明静电自组装膜对Ta2O5介质膜表面进行修饰后,有效地隔离了介质氧化膜中的缺陷,降低了电容的漏电流并提高耐电压能力;研究还发现不同厚度的超薄膜对Ta2O5电容结构的耐压特性有不同程度的影响,较厚的薄膜可以更好地提高电容的耐压能力并降低漏电流,但会增加电容的等效串联电阻（ESR）.另外,在相同薄膜层数的情况下,聚合物电解质PEDOT-PSS良好的导电性能降低了复合超薄膜的电阻,使得PDDA/PEDOT-PSS修饰的电容结构ESR值较低.

关键词：静电自组装、Ta2O5、耐压能力、等效串联电阻、漏电流

所属期刊栏目：70

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金61101029;中央高校科研基本业务费No.ZYGX2010J057资助项目~~

在线出版日期：2012-07-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：961-967