激光刻蚀硅表面的形貌及其对浸润性的影响

摘要：

利用脉冲激光在Si表面刻蚀具有不同宽度和深度的微槽形貌,通过测量接触角的大小研究其浸润特性,并分析了形貌与浸润性的关系.结果表明,在Si表面刻蚀微槽深度一定的条件下,刻蚀微槽宽度越宽,接触角越小;在Si表面刻蚀微槽宽度一定的条件下,刻蚀微槽越深,接触角越大,最高可达165°.而且Si表面上刻蚀后产生的细微尖峰结构对其浸润特性有显著的影响.因此,利用激光刻蚀表面方法可以在一定程度上调控固体表面的润湿性能.

关键词：激光刻蚀、浸润性、Si表面

所属期刊栏目：63

分类号：O6(化学)

资助基金：江苏省高校自然科学基金04JB430039

在线出版日期：2005-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：880-884