微波等离子体化学气相沉积法低温合成纳米碳管

摘要：

纳米碳管的低温合成是纳米碳管合成的一个重要研究方向.在众多的合成方法中,化学气相沉积法,特别是等离子体化学气相沉积法在纳米碳管的低温合成方面意义重大.本研究利用溶胶-凝胶法结合等离子体还原,获得了负载在SiO2上的纳米金属钴颗粒.以甲烷为碳源、氢气为载气,在纳米金属钴颗粒的催化作用下,利用微波等离子体化学气相沉积法在低于500℃的温度条件下合成了纯度较高的纳米碳管.

关键词：纳米碳管、微波等离子体化学气相沉积法、低温合成

所属期刊栏目：60

分类号：O6(化学)

在线出版日期：2004-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：957-960