(CH3)3M/PH3(M=Ga,In)体系的密度泛函研究

摘要：

用密度泛函理论方法对Me3M/PH3(Me=CH3,M=Ga,In)体系及相关的一些分子进行了计算,得到优化几何构型、振动基频、电荷分布等参数和可能发生的化学反应的能量.为了比较,对Me3Ga/NH3体系也做了相应的研究.计算结果表明反应中间体Me3M·YH3(Y=N,P)具有稳定的结构,其生成反应是放热的.Me3M·YH3中的M-Y键比较弱,但当它们通过一个放热的分子内反应分解为Me2MYH2和CH4后M-Y键大为增强.根据计算结果讨论了Me3M/YH3体系可能的热分解途径.由于Me3M·YH3单分子分解反应活化能比Me3M中的M-C键直接均裂分解所需的能量要低得多,在有YH3存在的情况下,Me3M的热分解最有可能是首先形成Me3M·YH3及Me2MYH2中间体,然后进一步分解.用这一机理可以解释现有的实验事实.

关键词：金属有机化合物气相沉积、密度泛函、分子结构、反应能量

所属期刊栏目：58

分类号：O6(化学)

资助基金：国家自然科学基金29892163,29928002

在线出版日期：2005-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1546-1550