基于碳纳米管的纳米连接技术研究进展

摘要：

纳米连接技术是构筑纳电子器件的关键技术.但鉴于目前纳米连接机理不甚明确、纳米连接技术不甚成熟,阻碍了纳电子器件的进一步研制和应用.因此如何形成碳纳米管与金属电极间可靠、稳定、有效的互连已成为该领域的研究难点和热点.本文综述了近年来改善纳米连接性能的多种方法,并对其原理和特点进行了分析和比较.最后,对该领域未来发展的趋势进行了展望.

关键词：碳纳米管、纳米连接机理、纳电子器件、纳米连接性能

所属期刊栏目：77

分类号：TN4;TN3

资助基金：国家自然科学基金项目51005145;教育部重点项目212056;上海市教委创新项目12ZZ163

在线出版日期：2014-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：204-208