希有气体中碳氟化合物的净除技术及其机理初探

摘要：

空气分离法生产的希有气体中含有碳氟化合物,由于碳氟间的强键结力,CF4与C2F6等全氟化物特别稳定.Zr-Al基多元合金能够有效地吸附CF4和C2F6,同时生成新的稳定的化合物.添加少量铪、镍、钛、镧系稀土金属使多种金属间化合物的晶格发生明显变化,增大气体杂质由Zr-Al合金表面向内部扩散的通道,大大增加了Zr-Al合金的比表面积,降低了反应温度,从而更加彻底地净除CF4和C2F6.这种材料不与Ar等希有气体反应,因此可以用来净除希有气体中的碳氟化合物杂质.

关键词：Zr-Al基多元合金、碳氟化合物、希有气体

在线出版日期：2013-02-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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