X射线荧光光谱法测定硅片中锑、砷、磷

摘要：

利用X射线荧光光谱法直接测定硅片中锑、砷、磷三个主要元素,选择化学法标定的硅片作为标准,通过仪器绘制标准曲线,计算各元素的检出限及各元素的精密度.用电感耦合等离子体光谱法定量分析三个元素,将两种方法的结果进行比对,所得结果基本一致.因此,通过仪器法和化学法的比较,表明该法与常规化学分析相比,具有简便、成本低、分析速度快,准确等优点.

关键词：X射线荧光光谱法、硅片、定量分析

所属期刊栏目：60

分类号：O657.3(分析化学)

在线出版日期：2019-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：795-798