气相色谱内标法测定硅片切割液中一缩二乙二醇含量

摘要：

采用气相色谱内标法,GC950型气相色谱仪汽化和检测温度均设为260℃,柱前压设为0.03 MPa,柱温程序设为:150℃保留2 min,以25℃/min速率升到260℃,保留10 min.结果表明,1,2-丙二醇与一缩二乙二醇(DEG)的保留时间(色谱峰位置)最接近且两者分离良好,可作为定量分析切割液中DEG的内标物.5次平行测定得到1,2-丙二醇与DEG的相对校正因子平均值为1.114,不同加标浓度水平下DEG的平均回收率为98％～99％,RSD为2.8％～6.0％.测得某切割液中DEG质量分数平均值为73.7％,日内与日间标准偏差分别为1.1和2.2,日内与日间RSD分别1.4％和3.0％.该方法准确可靠、精密度高且重现性好,操作误差在允许范围之内.

关键词：气相色谱内标法、一缩二乙二醇、内标物、测定

所属期刊栏目：53

分类号：O657.7(分析化学)

在线出版日期：2013-01-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：648-650