10.3969/j.issn.1671-8909.2023.07.017
湿法腐蚀清洗设备废气排放过程中的流场优化
湿法腐蚀清洗设备对废气的排放有很高的要求,排放的好坏直接关系到操作人员安全、厂务能源的消耗以及成品率.本文主要通过ANSYS对设备内的流场进行研究分析.首先,建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算.然后,改变化学槽废气的流速分析流场特性,并提出抑制废气循环流动解决方案.
湿法腐蚀清洗设备、Ansys、流场分析、废气排放
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TN305(半导体技术)
2023-11-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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