湿法腐蚀清洗设备废气排放过程中的流场优化

摘要：

湿法腐蚀清洗设备对废气的排放有很高的要求,排放的好坏直接关系到操作人员安全、厂务能源的消耗以及成品率.本文主要通过ANSYS对设备内的流场进行研究分析.首先,建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算.然后,改变化学槽废气的流速分析流场特性,并提出抑制废气循环流动解决方案.

关键词：湿法腐蚀清洗设备、Ansys、流场分析、废气排放

所属期刊栏目：39

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2023-11-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：50-52