10.3969/j.issn.1671-8909.2023.04.020
基于无氰镀金工艺的溶液循环泵研究
在晶圆电化学沉积过程中,无氰镀金工艺对循环泵提出了更高要求,通过对比分析磁悬浮泵、磁力泵、风囊泵和隔膜泵特性及结构,磁悬浮泵镀液循环脉动小,液流平稳,泵头不会发生金属沉积现象,因此无氰镀金溶液循环常采用磁悬浮泵作为动力源.
无氰镀金、磁悬浮泵、循环、沉积
39
TQ153
2023-06-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
59-61
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10.3969/j.issn.1671-8909.2023.04.020
无氰镀金、磁悬浮泵、循环、沉积
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TQ153
2023-06-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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