蓝宝石衬底退火后表面缺陷的研究

摘要：

蓝宝石衬底晶片加工过程中,研磨作业后需要进行退火处理,以去除加工过程中所残余的应力,并消除残余应力所引起的衬底形变.退火前需对衬底进行清洗,将清洗干净后的衬底放入退火炉中进行高温退火.退火后,衬底晶片表面时常会出现一些色差的缺陷区域,此缺陷由于目视可见,不符合出货要求,因此需要重新进行研磨加工或直接损失报废等处理,降低了生产效率.因此本文目的为探究蓝宝石衬底退火后表面出现缺陷的分析,了解成因后即采取措施避免缺陷的发生.

关键词：蓝宝石衬底、退火、缺陷

所属期刊栏目：35

分类号：O786(晶体生长)

在线出版日期：2019-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：31-32