多晶硅生产装置碳钢设备的清洗

摘要：

通过对多晶硅市场需求及前景分析,阐述选用柠檬酸酸洗的必要性,分析柠檬酸酸洗的可行性,并描述柠檬酸酸洗、脱脂及充氮防护清洗工艺过程中相关程序及注意事项.

关键词：多晶硅、碳钢装置、柠檬酸酸洗、新波绿、清洗

所属期刊栏目：33

分类号：TN304.12(半导体技术)

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：17-21