超声波硅片清洗系统的研制

摘要：

分析自动超声波硅片清洗机设备的整个系统组成和器件的选型及维护.

关键词：超声波、清洗机、可编程逻辑控制器、电控系统、机械手

所属期刊栏目：31

分类号：TB490(工业通用技术与设备)

在线出版日期：2015-04-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：35-38