湿法清洗中兆声波清洗工艺与应用

摘要：

简述了兆声波清洗工艺的原理、特点,介绍其在清洗设备中的应用与前景.

关键词：兆声波、超声波、硅片、清洗工艺

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2015-03-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41