全自动半导体RCA清洗机

摘要：

RCA清洗工艺是一种在半导体制造过程中被广泛应用的工艺,是去除硅片表面各类玷污的有效方法.本文介绍了RCA清洗工艺的原理、过程以及应用,并详细介绍了全自动半导体RCA清洗机的组成、各单元结构及功能.

关键词：RCA清洗工艺、化学清洗、清洗设备、全自动设备

所属期刊栏目：29

分类号：TH6(专用机械与设备)

在线出版日期：2013-08-06（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：42-46