高功率激光装置机械结构件超声波清洗工艺

摘要：

由大型高功率激光装置的特点，需要其内部的机械结构件表面有较高的洁净度。通常情况下内部的在线可替换单元模块（LRU）等洁净度都要求达到美军标百级水平，因此洁净清洗成为装置集成安装环节一个重要因素。本文根据高功率激光装置建设的工程任务，结合国内相关装置建设的经验，系统分析了超声波清洗的可行性，并配合洁净检测的结果对比验证，证明超声波清洗可以满足洁净清洗的需求。

关键词：超声波、清洗技术、高功率激光装置、洁净

所属期刊栏目：28

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

资助基金：基金项目:中物院国防预研项目

在线出版日期：2012-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：29-33