10.3969/j.issn.1671-8909.2006.01.011
激光清洗--微电子元件
简单介绍了激光清洗在微电子领域应用的优势,分析了激光清洗微电子元件的主要机理以及影响微电子元件清洗的主要因素,最后指出了这方面的应用情况.
细小微粒、近场光学聚焦、紫外激光
22
TH744.5(仪器、仪表)
2006-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
38-43
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10.3969/j.issn.1671-8909.2006.01.011
细小微粒、近场光学聚焦、紫外激光
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TH744.5(仪器、仪表)
2006-07-31(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共6页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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