纳米颗粒钛膜的构建及其表面形貌特征研究

摘要：

目的 构建4级纳米颗粒钛膜实验模型,并评价其表面微观形貌特征.方法 采用直流磁控溅射法通过温度控制制备不同大小的纳米颗粒钛膜,采用X射线衍射测试其表面晶粒大小,采用原子力显微镜观察4个温度组(常温、100、250、380℃)Si、Ti基底及未镀膜对照组的表面微观形貌,统计并比较各组颗粒大小,测定各组表面粗糙度大小.结果 各组样品表面均形成由密集的圆形或卵圆形颗粒组成的致密薄膜,随温度升高,颗粒大小和晶粒大小均逐渐增大.相对于平整的Si基底,Ti基底的本底形貌对表面膜有较大影响,形成一种复合结构,使Ti基底组的表面粗糙度呈现出随颗粒增大而降低的现象.结论 本实验在直流磁控溅射中通过对温度控制而形成不同大小的纳米颗粒钛膜,这种在Ti基底上所形成的复合结构能进一步增大其比表面积.

关键词：纳米结构、表面形貌、钛膜

所属期刊栏目：27

分类号：R783.2(口腔科学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目10675087,10574095

在线出版日期：2009-11-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：455-458