MOCVD生长铁电氧化物薄膜MO源研究进展

摘要：

高性能铁电氧化物薄膜是当今功能材料的研究热点之一.随着新型MO源的不断研究与开发,利用MOCVD技术制备高质量铁电薄膜材料得到了快速的发展.本文在分析金属醇盐和金属β-二酮化合物等MO源的结构与其物性依赖关系基础上,分类综述了近年来在用于MOCVD方法生长铁电氧化物薄膜的新型MO源研究和开发方面的发展动态与趋势,为MOCVD方法制备铁电薄膜材料MO源的选择提供有用的参考与借鉴.

关键词：铁电薄膜、MOCVD、MO源

所属期刊栏目：17

分类号：O621.25;TB43;O627(有机化学)

在线出版日期：2005-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：839-846