四氯化硅再利用技术的研究进展
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10.3969/j.issn.1006-7906.2023.03.001

四氯化硅再利用技术的研究进展

引用
近年来气候变化促使全球能源体系向以光伏发电为主的可再生能源转型,光伏产业进入高速发展轨道.作为核心原料的多晶硅的投产也越来越多,改良西门子法是当前多晶硅生产的主流工艺,生产期间会副产大量的四氯化硅.四氯化硅的综合利用对企业实现物料闭路循环、降低生产成本起到关键作用.对四氯化硅再利用技术进行了综述,指出了未来的研究方向.

多晶硅、四氯化硅、氢化、再利用技术

44

TQ127.2

2023-09-12(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共5页

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