β-环糊精制备光刻胶成膜树脂及性能研究

摘要：

光刻胶作为芯片的核心材料,对微电子技术的快速发展起着至关重要的作用,成膜树脂作为光刻胶的骨架组分,直接影响光刻胶的性能.本研究利用β-环糊精代替传统光刻胶中的化学成分,与二碳酸二叔丁酯合成制备环境友好型的t-BOC-β-环糊精成膜树脂.利用红外、1H NMR、TG、XRD等先进仪器对其结构和性能进行分析表征,研究结果表明,在温度35℃、反应时间5h、β-环糊精与二碳酸二叔丁酯摩尔比为1:10.5时,t-BOC基团在β-环糊精上取代度最高为16,制得的t-BOC-β-环糊精成膜树脂具有优异的耐热性和成膜性能,在190～195nm以外的紫外波长部分光透性非常好,经显影液浸泡后留膜率仅有2％.除此之外,β-环糊精分子量小,可以有效提高光刻胶分辨率,可用于制成248nm的高分辨率光刻胶产品.

关键词：成膜树脂、β-环糊精、二碳酸二叔丁酯、分子玻璃

所属期刊栏目：36

分类号：TQ322.4

资助基金：浙江省重点研发计划项目;浙江省重点研发计划项目;浙江省基础公益研究计划项目;浙江省基础公益研究计划项目;浙江理工大学科研启动基金项目;浙江理工大学科研启动基金项目

在线出版日期：2022-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-6