芯片刻蚀剂全氟丁二烯生产技术的开发

摘要：

全氟丁二烯作为一种优秀的新一代电子蚀刻气体,目前,具有非常好的市场前景.以废旧聚四氟乙烯为原料设计制备全氟丁二烯的工艺流程,包括废旧聚四氟乙烯裂解、1,4-二碘八氟丁烷的合成以及全氟丁二烯合成等实验过程.在小试实验的基础上,获得了该工艺路线的原料消耗成本,并对20t·a-1的工业化生产装置的投资和预期盈利进行了评估,该制备路线生产1t六氟丁二烯的原料成本为50万元左右,具有较好的经济效益.

关键词：全氟丁二烯;二碘全氟烷烃;格式试剂;1,4-二碘八氟丁烷;芯片刻蚀剂

所属期刊栏目：35

分类号：TQ9(其他化学工业)

资助基金：天津市科委计划培育项目05YFGPGX06700

在线出版日期：2021-12-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-72