10.16247/j.cnki.23-1171/tq.20211069
芯片刻蚀剂全氟丁二烯生产技术的开发
全氟丁二烯作为一种优秀的新一代电子蚀刻气体,目前,具有非常好的市场前景.以废旧聚四氟乙烯为原料设计制备全氟丁二烯的工艺流程,包括废旧聚四氟乙烯裂解、1,4-二碘八氟丁烷的合成以及全氟丁二烯合成等实验过程.在小试实验的基础上,获得了该工艺路线的原料消耗成本,并对20t·a-1的工业化生产装置的投资和预期盈利进行了评估,该制备路线生产1t六氟丁二烯的原料成本为50万元左右,具有较好的经济效益.
全氟丁二烯;二碘全氟烷烃;格式试剂;1,4-二碘八氟丁烷;芯片刻蚀剂
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TQ9(其他化学工业)
天津市科委计划培育项目05YFGPGX06700
2021-12-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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