金刚石线切割太阳能硅片高效节能型清洗剂的制备及清洗效果研究

摘要：

研制一种用于工业生产中太阳能级硅片的高效节能型清洗剂,适用于金刚石线切割后的硅片表面清洗处理.该清洗剂溶液低泡、呈碱性,能够有效的去除硅片表面的金属离子、各种有机污染物,对硅片损伤小,清洗效率高,节省水资源,操作方便,清洗剂综合效果明显优于现有市售清洗剂.

关键词：金刚石线、太阳能硅片、高效节能、清洗剂

所属期刊栏目：34

分类号：TN305.2(半导体技术)

资助基金：陕西国防工业职业技术学院2018年科研基金资助项目Gfy18-42

在线出版日期：2020-06-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：12-14