一种无机沉淀-胶溶法制备二氧化钒薄膜及热致相变性能

摘要：

通过一种便捷的沉淀-胶溶方法,以硫酸氧钒、NH3· H2O和H2O23种无机化合物为原料制备VO2薄膜.XRD结果表明,经过N2下550℃热处理后,VO2薄膜晶体为P21/c单斜相.SEM和台阶仪测试表明,薄膜表面由近球形颗粒致密分布组成,颗粒粒径约为23.5nm且膜厚为142nm,EDS能谱表明该薄膜仅含有V、O两种元素.变温电阻测试结果表明,VO2薄膜具有良好的热致相变性能,相变温度为65℃.

关键词：二氧化钒、薄膜、溶胶-凝胶、相变

所属期刊栏目：31

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：军工项目BZZ14J001

在线出版日期：2017-05-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：10-12,16