一种太阳能硅片清洗剂的制备方法

摘要：

研制一种用于工业生产中太阳能硅片的水基专用清洗剂,适用于硅片的表面清洗处理.该清洗剂以非离子表面活性剂和阴离子表面活性剂为主剂,溶液呈碱性,不含有机溶剂,无刺激性气味、成本低、具有良好的去污、清洗性能.清洗方法操作方便、无毒、对人体无危害、对环境无污染.

关键词：太阳能硅片、表面活性剂、清洗剂

所属期刊栏目：26

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2012-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：62-63,68