10.3969/j.issn.1008-6145.2010.04.032
GaN基异质外延膜中Al组分含量测试方法综述
介绍了目前可用于AlGaN半导体异质外延膜中Al组分含量测定的多种测试技术,包括高分辨X射线衍射技术、光致发光法、紫外-可见光透射光谱法、电子探针法、卢瑟福背散射法等,并对各种测试技术的原理和优缺点进行了概述.
AlGaN外延膜、高分辨X射线衍射、光致发光、电子探针、卢瑟福背散射
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TN3;TB3
2011-05-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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