痕量臭氧标准气体发生装置的研制

摘要：

研制了一种新型的痕量臭氧标准气体发生装置，可输出设定量值的稳定臭氧标准气体，24h连续运行，输出量值相对标准偏差小于1．2％。发生臭氧浓度范围为25～1000nmol／mol。该装置可输出一组按顺序增大或减小的臭氧标准气体，可与被校准仪器连接进行比对试验或检定校准。与美国国家标准局（NIST）臭氧基准测量装置SPR41比对试验研究表明，研制的臭氧标准气体发生装置具有很好的准确性，定值不确定度小于1％（k＝2）。

关键词：臭氧发生装置、标准气体、气体分析

分类号：TQ117

在线出版日期：2011-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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