大数值孔径宽光谱折反式物镜设计(特邀)

摘要：

为了满足半导体缺陷检测系统对成像系统高分辨的要求,依据系统的特点和设计指标,设计了一种近紫外-可见光大数值孔径折反式物镜.在近紫外-可见光波段对光学玻璃材料的色散特性进行分析,通过二级光谱理论计算,选择合适的玻璃材料,对光学系统的二级光谱进行了校正.该物镜使用 11 片球面透镜,结构紧凑.设计出一套光谱范围为 360～520 nm、数值孔径为 0.9、焦距为 5.65 mm、视场大小为 0.8 mm、工作距离为 0.8 mm的物镜,采用无限远共轭折反式结构.设计结果表明:该物镜的MTF较好,全视场波像差小于 0.09λ(λ=632.8 nm),各种几何像差均得到了较好的校正,满足复消色差条件,并且结构简单,具有较长的工作距离,为实际的生产装配和应用提供了便利.

关键词：宽光谱、大数值孔径、折反式物镜、物镜设计、光学设计

所属期刊栏目：52

分类号：O439;O436.1(光学)

在线出版日期：2023-10-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：64-71