液相外延碲镉汞薄膜缺陷综述

摘要：

液相外延是碲镉汞(MCT)薄膜生长领域最成熟的一种方法,被众多红外探测器研究机构和生产商所采用.然而由于MCT材料自身属性和具体制备工艺的原因,液相外延生长过程中不可避免地会产生各种缺陷,从而降低红外探测器的性能.为了增加对液相外延MCT薄膜中缺陷的认识,并对具体的生长工艺提供指导性建议,基于已报道的文献总结了液相外延MCT薄膜中所存在一些缺陷的特征以及形成机理和消除方法.对各类缺陷的形成机理和消除方法进行探讨和评估,有助于提高MCT薄膜液相外延的水平,为制造高性能MCT探测器做好材料技术支撑.

关键词：碲镉汞材料、液相外延、缺陷形成机理、缺陷消除方法

所属期刊栏目：52

分类号：TN215(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共17页

页码：315-331