大口径离轴非球面离心力误差修正的车削方法

摘要：

大口径离轴非球面反射镜进行高精度车削过程中,由离心力引起的微米级面形误差变得尤为重要.为了减小离轴非球面反射镜在车削过程中受离心力变形而引起的面形误差,对离轴非球面铝合金反射镜开展了单点金刚石车削工艺研究.通过分析离心力产生机理,构建了抑制离心力坐标变换加工模型;利用有限元仿真的方法优化了坐标变换的平移位移和旋转角度,最后基于优化结果对口径320 mm的RSA6061铝合金离轴非球面反射镜进行车削实验,获得了面形精度为RMS 0.198λ(λ= 632.8 nm)的离轴非球面铝合金反射镜,验证了该优化加工方法的有效性.上述优化方式能够显著提高单点金刚石车削加工大口径离轴非球面反射镜的加工精度.

关键词：光学制造、离轴非球面、离心力误差、金刚石车削

所属期刊栏目：52

分类号：TH161.2

在线出版日期：2023-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：294-303