640×512规模碲化汞量子点中波红外焦平面阵列(特邀)

摘要：

中波红外成像在军事侦察、遥感测绘、航天航空等领域发挥了重要作用.现有中波红外焦平面主要采用碲镉汞、二类超晶格、锑化铟等块体半导体材料,其性能优异、稳定性高.然而,其复杂的材料制备及倒装键合工艺限制了块体半导体焦平面阵列的批量化制备及低成本应用.胶体量子点作为一种新兴液态半导体材料,具有光谱调控范围"宽"、合成规模"大"、制备成本"低"、以及加工工艺"易"等优势,为新型红外焦平面阵列研发提供了全新的思路.碲化汞量子点采用"热注法"合成,并通过旋涂方法实现与硅基读出电路的直接电学耦合,阵列规模及像元间距为 640×512 及 15 μm.在 80K工作温度下对焦平面阵列进行了性能测试,碲化汞焦平面阵列响应截止波长达到 4.6 μm、比探测率为 2×1010 Jones、噪声等效温差 51.26 mK(F#=2)、响应非均匀性 3.42%且有效像元率高达 99.99%,展现了较好的成像性能,为非倒装键合体制中波红外成像焦平面的制备提供了新的方案.

关键词：红外成像技术、量子点焦平面阵列、捕获型器件、中波红外、热成像

所属期刊栏目：52

分类号：O434.3(光学)

在线出版日期：2023-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：1-8