基于平面反射式全息光栅的激光自混合纳米位移测量研究

摘要：

纳米位移测量技术是实现高精度纳米制造的基础.激光自混合干涉为精密纳米位移测量提供了一种结构简便、成本低廉,同时测量精度可达纳米量级的精密位移测量方法.区别于传统基于反射镜或散射面为反馈元件的激光自混合干涉测量方案,研究了一种基于平面反射式全息光栅的激光自混合纳米位移测量方法,该方法的位移测量结果以光栅的周期为基准.实验测得了在弱反馈强度条件下的光栅自混合干涉信号,通过阈值设定的方法确定位移方向的反转点,结合反余弦的相位解包裹算法处理光栅自混合信号,获得了对应的位移测量值.最终采用商用激光干涉仪与自组装的光栅自混合干涉仪进行位移测量数据的比对测量,实验结果表明,经过线性修正后,其位移误差不超过0.241％.

关键词：纳米位移测量、激光自混合、光栅干涉仪、全息光栅

所属期刊栏目：52

分类号：TB96(计量学)

在线出版日期：2023-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：249-257