激光直写制备衍射光学元件的研究及应用

摘要：

衍射光学元件作为一种典型的微光学元件,其体积小、质量轻、设计自由度多、成像质量良好,在光学成像、光学数据存储、激光技术、生物医学等领域具有广阔的应用前景.随着现代光学系统的不断发展,对衍射光学元件的加工效率和制备精度提出了更高的要求.激光直写技术凭借加工精度高、工艺简单、灵活性好等优势,成为制备高精密仪器中关键光学元件所必需的一种加工方式.针对不同的加工需求,开发了多种激光直写系统,并在应用过程中不断地改进升级.另外,突破衍射极限的飞秒激光微纳结构制造技术,能够获得更高的加工精度和更好的分辨率,为微光学元件的制备提供了新的方法.首先介绍了激光直写技术的特点;其次综述了衍射光学元件直写加工技术的研究进展,包括直写技术的影响因素、激光直写系统和多光束加工技术;接着介绍了衍射光学元件的典型应用,如红外成像、色差校正、光束整形、图像显示;最后,对激光直写技术制备衍射光学元件存在的问题和未来发展趋势做出了总结.

关键词：激光直写技术、衍射光学元件、直写系统对比、微纳制造、光学元件应用

所属期刊栏目：52

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共19页

页码：136-154