短相干半导体激光器的射频调制特性及应用

摘要：

短相干激光光源在进行高精度的干涉测量时,可以消除被测光学元件前后表面反射形成的杂散光,是低相干干涉仪的理想光源.针对低相干干涉应用对光源的需求,依据速率方程和激光调制特性对射频调制下的短相干半导体激光器光谱特性进行了理论研究.搭建了短相干光源系统,研究了半导体激光器斜率效率η、偏置电流Ib、射频信号频率fm和幅度Am对其相干长度的影响.实验结果表明,斜率效率大的半导体激光器更有助于短相干特性的实现,随着调制信号频率和幅值增加,工作在阈值附近的激光器相干长度随之降低,该系统在Ib=1.3Ith、fm=950 MHz、Am=19 dBm的条件下获得了相干长度为90 μm的短相干光源.并成功应用于斐索干涉仪上,获得了对比度K=0.931 8的清晰干涉图像,与现有短相干光源相比,对比度提高了约51.1％,实现了对平行平板玻璃面形的测量.

关键词：半导体激光器、短相干光源、射频调制、调制频率、调制深度

所属期刊栏目：52

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：89-98