高功率266 nm全固态单频连续波激光器研究进展

摘要：

高功率单频连续波266 nm激光在大容量信息存储、高分辨光谱监测及高精度紫外光刻等领域具有重要应用价值,近年来已成为国内外紫外激光领域的研究热点之一.文中首先综合比较了用于产生高功率266 nm紫外激光的非线性光学晶体基本性能,并根据主要的激光器频率锁定方法,重点分析了 Hansch-Couillaud(H-C)频率锁定和Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定方法的优缺点以及连续波单频266nm激光器发展现状,介绍了本课题组最新研究成果,即基于H-C频率锁定方法实现了功率1.1 W的单频连续波266 nm紫外激光稳定输出.最后,针对进一步提升全固态单频连续波266 nm激光器性能亟需解决的问题和可能解决路径进行了简要分析和展望.

关键词：全固态单频连续波激光器、266nm、共振增强、频率锁定

所属期刊栏目：52

分类号：TN248(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2023-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：68-79