激光清洗研究综述(特邀)

摘要：

激光清洗是通过把高亮度和方向性好的激光照射到物体待清洗的部位,使激光器发射的光束被污染层和/或基底吸收,通过光剥离、汽化等过程,克服污染物和基底之间的粘附力,使污染物离开物体表面,达到清洗目的,且不损伤物体本身的物理清洗技术.20世纪 80年代以后,激光清洗技术得到了越来越多的关注.40 年来,激光清洗作为一种新型高效的环保清洗技术,得到了飞速发展,在电子元器件清洗、文物保护和脱漆除锈等领域得到研究并获得了应用.2010 年以后,对激光清洗研究进一步深入,在激光清洗的检测和智能控制方面取得较大成果,并且在激光清洗机理方面也取得了进展.中国科学家在这个过程中也做出了贡献.介绍了激光清洗原理、特点、源起,对 40 余年的激光清洗发展做了综述,并介绍了国内近年来激光清洗的研究动态.

关键词：激光清洗、污染物、光剥离、汽化

所属期刊栏目：52

分类号：O4-1;TN249

资助基金：国家重点研发计划2022YFB4601500

在线出版日期：2023-05-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共22页

页码：20-41