超大口径平面反射镜的光学检测(特邀)

摘要：

在简要总结了各种检测大口径反射镜难点的基础上,为了实现30m望远镜(TMT)超大口径第三反射镜的高精度检测,提出了一种融合五棱镜扫描技术和子孔径拼接测试技术的新方法.大口径反射镜分阶段依次进行了五棱镜扫描测试和子孔径拼接检测,对该技术的基本原理和基础理论进行了分析和研究,制定了检测30 m望远镜第三反射镜(口径为3.5 m×2.5 m)的方案,对其测试流程、五棱镜设计、五棱镜扫描像差拟合、拼接最优化算法等进行了详细分析,并对30m望远镜第三反射镜的原理镜进行了实验验证,其最终拼接检测面形的均方根值(RMS)和斜率均方根值(slopeRMS)分别为28.676 nm和0.97 μrad.

关键词：光学检测;超大口径平面反射镜;30m望远镜;子孔径拼接干涉检测;五棱镜扫描

所属期刊栏目：51

分类号：TQ171.65;O436.1

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金;吉林省科技发展计划

在线出版日期：2022-03-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：388-394