GaAs/AlGaAs量子阱长波10.55μm红外焦平面探测器
利用GaAs/AlGaAs量子阱结构,研制了像元规模为640×512、中心响应波长在10.55μm附近的红外焦平面阵列器件,与50K集成式制冷机耦合后,测试了相关性能,其等效噪声温差达到22.5mK.焦平面组件通过了初步的开关机试验以及热真空试验后,表现良好.考虑封装冷屏导致在面源黑体测试时产生的焦面照度不均匀问题进行了数值计算,并分析了与近似解析计算的误差,表明当F数变小时应当采用数值计算,并认为探测器测试的非均匀性主要由照度不均匀贡献.针对10.55μm量子阱探测器,利用开源的MEEP FDTD软件,进行了近场耦合的光场分布计算,计算结果表明目前的结构参数在光衍射方面是比较接近优化的.
量子阱红外焦平面探测器;长波红外;光耦合优化
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TN21(光电子技术、激光技术)
2021-06-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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