CO2激光多程平移法制备高质量梯形PMMA微通道

摘要：

由于非金属材料对长波红外激光有较强的吸收,CO2激光常被用于制备PMMA微通道.激光光强呈高斯分布,导致常规激光静态多程刻蚀法制备的微通道截面为三角形,无法满足微流体芯片中的实际应用需求.提出了一种激光多程平移刻蚀法,以首次刻蚀形成的热影响区(HAZ)为界限多程横向重叠平移刻蚀,可以快速制备出理想梯形截面的高质量微通道.通过与CO2激光静态多程刻蚀法在横截面、热影响区、表面粗糙度等方面的对比,结果表明,CO2激光多程平移刻蚀法制备的PMMA微通道热影响区更小、表面更光滑、横截面更实用.

关键词：微通道、CO2激光、梯形通道、PMMA

所属期刊栏目：48

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金61475157

在线出版日期：2019-04-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：88-92